用于测量表面和波前变形的干涉仪
010-56521671
卧式干涉仪
产品详情
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
产品特点
01 ▏高精度
对平面、球面、圆柱、复曲面和非球面部件的整个表面和波前变形进行高精度测量。
02 ▏多样化用途
µPhase®可普遍用于反射率从0.2%到100%的所有表面，由玻璃、塑料、金属和陶瓷等材料制成。
03 ▏可靠
客观的数字化测量可避免操作员的影响。同样，坚固的防尘外壳确保了高可靠性。
产品概述
µPhase®干涉仪是非常紧凑、小巧、轻便的数字化设备，可以在很多工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。
µPhase®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并代表特定的测量任务。此外，可以以低成本提供定制的解决方案。
| µPhase® UNIVERSAL 可变性高 由于其多用途结构和模块化设计，µPhase® UNIVERSAL具有一定的研发可变性。
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产品应用
µPhase®干涉仪支持以下测量和应用：
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软件应用
软件简介 |
借助当前版本8中可自由配置的µShape软件，µPhase®适合用于生产和研发。该软件控制测量，提供全面的分析选项并提供完整的文档。测量模板使测量过程透明度高，并可以快速记录测试结果。 µShape结构清晰、基于菜单的用户界面始终符合µPhase®的综合使用，并且可以通过可用模块以多种不同方式进行扩展。即使在购买了µPhase®系统之后，也可以随时添加这些模块。 µShape软件主要是为µPhase®操作而开发的，但也可用于操作其他制造商的实验室和车间干涉仪。可以开发定制功能。 |
软件特点 |
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软件职能 |
1. “非球面”：球面或CGH设置中的非球面分析 非球面模块可以借助计算机生成的全息图(CGH)分析非球面设置中的强非球面，以及分析球面设置中的弱非球面。可以输入和保存非球面的描述信息。支持各种格式（轴对称）。剩余的调整误差以及系统设置误差通过非球面调整配合进行补偿。 |
2. “柱面”：柱面分析 柱面模块在柱面设置（使用CGH）中分析柱面样品。剩余的调整误差由柱面调整配合补偿。 |
3.“外部接口”：外部通讯接口 外部接口模块可以让µShape™和LabVIEW™等外部软件之间进行通信，以通过外部程序（例如在自动化系统中）控制干涉仪。 |
4. “快速边缘”：静态边缘分析 该模块可以分析单个干涉图，以便在不稳定环境中或使用不带移相装置的干涉仪进行测量。 |
5. “光纤连接器”：光纤连接器分析 根据国际IEC公约，光纤连接器模块允许分析PC型光纤连接（物理接触）的端面。只需一次测量即可收集主要参数；这包括通过/失败分析的可选显示。 |
6. “均匀性”：测量透明样品的均匀性 影响通过样品的光路的两个方面，即一方面的均匀性（折射率的变化）和另一方面的厚度变化，可以在单独的程序模式中确定。 |
7. 数学模式 该程序模式可以结合数学计算分析各种数据分配，以附加结果分配。无法进行矩阵计算。 |
8. “多光圈”：一步进行多光圈分析 该模块可以在一个视野内对单个不相连的光圈进行联合测量和分析，例如测量安装在抛光头上的组件。 同时测量非连接光圈的可能性也可以进行楔形分析。该分析可用于确定平面镜的楔角以及平面传输板的光楔，在物体后面有一个附加镜。 |
9. “多重统计”：对多个子孔径的相同统计分析 如果样本规范为同一样本的不同子部分定义了不同的限制，MultiStat模块可以在一次测量中对所有子区域进行相同的分析。每个部分的结果单独发布。 |
10. “MTF/PSF”：MTF分析 在光学领域，MTF被用来描述光学系统的质量。该模块可以计算焦点和无焦点光学组件和系统的MTF。 |
11. “棱镜”：棱镜分析 90°和三棱镜上的角度误差可以通过分析通过90°或0°目标角度上的误差偏差观察到的干涉图案来进行干涉测量。 |
12. “粗糙度/PSD”：粗糙度和功率谱密度PSD的分析 该模块可以沿着可自由定义的直线计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数。 |
13. “样本正态数据”：考虑已知样本偏差 样本数据（Sample Normal Data – SND）的使用可以识别额外的样本错误并将它们包括在测试中，例如由于光学设计（基于设计的标称值）引起的偏差。 |
升级与配件
| 常规
• 无涂层 • 镜像
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| 相机镜头
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µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 10结合使用 | µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 50结合使用 |