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立式干涉仪

产品详情

用于测量表面和波前变形的干涉仪

  µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。  

产品特点


01 ▏高精度


对平面、球面、圆柱、复曲面和非球面部件的整个表面和波前变形进行高精度测量。



02 ▏多样化用途


µPhase®可普遍用于反射率从0.2%到100%的所有表面，由玻璃、塑料、金属和陶瓷等材料制成。



03 ▏可靠


客观的数字化测量可避免操作员的影响。同样，坚固的防尘外壳确保了高可靠性。


产品概述

 µPhase®干涉仪是非常紧凑、小巧、轻便的数字化设备，可以在很多工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。

  µPhase®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并代表特定的测量任务。此外，可以以低成本提供定制的解决方案。


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µPhase® VERTICAL 3 多功能

  用于制造、车间和实验室的高度灵活且设备齐全的干涉仪系统。   

  • 电动纵向Z轴

  • 适用于所有类型的反射和透射测量的独特设计

  • 集成自动半径测量

  • 紧凑型设计，垂直测量结构，适用于狭小空间

  • 集成倾斜和XY平移调整台，实现样品理想校准

  • 根据测量要求进行模块化优化设计

  • 可选：使用托盘支架和电动XY托架，一次通过多个样品的自动表面和半径测量



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µPhase® VERTICAL PRO 自动化

  借助其托盘，µPhase® VERTICAL PRO可以自动测量20到30个样品。

  • 测量球面、复曲面和非球面透镜以及由玻璃、塑料或金属制成的样品

  • 样品半径可达50mm

  • 可自由配置和快速更换的样品架

产品应用

µPhase®干涉仪支持以下测量和应用：

  • 在反射中测量平面、球面、圆柱面、复曲面和非球面

  • 测量球面、复曲面和非球面透镜的绝对半径

  • 适配镜的测试

  • 透明样品的波前变形测量

  • 隐形眼镜和成型工具的测量

  • 快速离线或在线测量超精密金刚石车床换刀后的刀位

  • 测试大量高精度、非光学元件

  • 汽车应用

  • 医疗应用


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软件应用

软件简介

  借助当前版本8中可自由配置的µShape软件，µPhase®适合用于生产和研发。该软件控制测量，提供全面的分析选项并提供完整的文档。测量模板使测量过程透明度高，并可以快速记录测试结果。

  µShape结构清晰、基于菜单的用户界面始终符合µPhase®的综合使用，并且可以通过可用模块以多种不同方式进行扩展。即使在购买了µPhase®系统之后，也可以随时添加这些模块。

  µShape软件主要是为µPhase®操作而开发的，但也可用于操作其他制造商的实验室和车间干涉仪。可以开发定制功能。



软件特点

  • 各种访问级别允许用户特定的访问选项，从管理员到生产用户

  • 全面的、针对具体情况的直接帮助

  • 由于易于配置的模板适用于任何类型的测量任务和分析，因此易于使用且用户需要较少的培训

  • 保存测量值的满意再分析选项，无需重新测量

  • 轻松存储各种图形格式（bmp、jpg等）的图形

  • 将单个参数或选定数据字段以文本文件、二进制文件或其他常用的文件格式（例如 QED、Zygo XYZ、DigitalSurf、INT）的形式快速导出，用于外部处理

  • MetroPro兼容的文件格式扩展了任务描述中的示例参数

  • 额外的二维多项式拟合

  • 测量报告提供了结果的全面介绍，并且可以通过多种方式进行配置，包括客户标识

  • 通过校准和测量过程的单独可视化，清晰结构化地展示程序模式

  • 以2D或3D图形或可自由选择的截面图形(1D)的形式将测量参数作为测量值全面呈现，包括集成的实时摄像机图像

  • 通过将所有参数和设置（包括窗口大小和位置）存储在µShape™程序文件中，快速测量重复零件

  • 灵活自定义屏幕显示，可适应任何显示器尺寸

  • 实时图像：作为附加窗口显示在第二个屏幕上

  • 通过持续开发和定期更新始终采用新技术——根据要求或作为软件统一收费

  • 完全兼容Windows 10（64位和32位系统）



软件职能

1. “非球面”：球面或CGH设置中的非球面分析

  非球面模块可以借助计算机生成的全息图(CGH)分析非球面设置中的强非球面，以及分析球面设置中的弱非球面。可以输入和保存非球面的描述信息。支持各种格式（轴对称）。剩余的调整误差以及系统设置误差通过非球面调整配合进行补偿。  


2. “柱面”：柱面分析

  柱面模块在柱面设置（使用CGH）中分析柱面样品。剩余的调整误差由柱面调整配合补偿。  


3.“外部接口”：外部通讯接口

  外部接口模块可以让µShape™和LabVIEW™等外部软件之间进行通信，以通过外部程序（例如在自动化系统中）控制干涉仪。


4. “快速边缘”：静态边缘分析

 该模块可以分析单个干涉图，以便在不稳定环境中或使用不带移相装置的干涉仪进行测量。 


5. “光纤连接器”：光纤连接器分析

  根据国际IEC公约，光纤连接器模块允许分析PC型光纤连接（物理接触）的端面。只需一次测量即可收集主要参数；这包括通过/失败分析的可选显示。   


6. “均匀性”：测量透明样品的均匀性

  影响通过样品的光路的两个方面，即一方面的均匀性（折射率的变化）和另一方面的厚度变化，可以在单独的程序模式中确定。  


7. 数学模式

  该程序模式可以结合数学计算分析各种数据分配，以附加结果分配。无法进行矩阵计算。


8. “多光圈”：一步进行多光圈分析

  该模块可以在一个视野内对单个不相连的光圈进行联合测量和分析，例如测量安装在抛光头上的组件。

  同时测量非连接光圈的可能性也可以进行楔形分析。该分析可用于确定平面镜的楔角以及平面传输板的光楔，在物体后面有一个附加镜。


9. “多重统计”：对多个子孔径的相同统计分析

  如果样本规范为同一样本的不同子部分定义了不同的限制，MultiStat模块可以在一次测量中对所有子区域进行相同的分析。每个部分的结果单独发布。


10. “MTF/PSF”：MTF分析

  在光学领域，MTF被用来描述光学系统的质量。该模块可以计算焦点和无焦点光学组件和系统的MTF。


11. “棱镜”：棱镜分析

  90°和三棱镜上的角度误差可以通过分析通过90°或0°目标角度上的误差偏差观察到的干涉图案来进行干涉测量。


12. “粗糙度/PSD”：粗糙度和功率谱密度PSD的分析

  该模块可以沿着可自由定义的直线计算功率谱密度(PSD)以及粗糙度参数。  


13. “样本正态数据”：考虑已知样本偏差

  样本数据（Sample Normal Data – SND）的使用可以识别额外的样本错误并将它们包括在测试中，例如由于光学设计（基于设计的标称值）引起的偏差。


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升级与配件

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常规

  • 将µPhase®传感器从µPhase® 1更换为µPhase® 3.3，相机分辨率从608 x 608像素增加到1216 x 1216像素

  • 标准波长为632.8nm，可根据要求提供355nm和1100nm之间的波长

  • 水平或垂直支架

  • 基本的µPhase®单元和平面透镜具有卡口连接，可以在各种系统结构之间快速轻松地进行切换

  • 各种直径的平面和球面校准表面

•  无涂层

•  镜像

  • 无需直接访问µPhase®硬件即可在办公室工作站进行离线分析和记录的许可




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相机镜头

  • µLens SPHERO 50 f/4,1

  • µLens SPHERO 10 f/0,7

  • µLens SPHERO 10 f/1

  • µLens SPHERO 10 f/1,5

  • µLens SPHERO 10 f/3

  • µLens SPHERO 10 f/5,2

  • µLens SPHERO 50 f/0,7

  • µLens SPHERO 50 f/1

  • µLens SPHERO 50 f/1,5

  • µLens SPHERO 50 f/2,4



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µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 10结合使用

µLens SPHERO物镜与µLens SPHERO 50结合使用


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