OptoFlat 高精度低相干干涉仪
OptoFlat是行业内较低成本、离稳定性、高刚性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命的633nm的LED光源，波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学原件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响，所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰，直接测得目标表面的面型精度。对千测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影晌的。
OptoFlat是行业内较低成本、离稳定性、高刚性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命的633nm的LED光源，波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学原件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响，所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰，直接测得目标表面的面型精度。对千测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影晌的。
产品应用
测量抛光光学表面的面型和透射波前
产品型号及技术指标
| 放大倍率 | 1X放大倍率 | 4X放大倍率 |
| 有效测量区域 | φ101.6mm | φ25.4mm |
| 相机分辨率 | 1200x200pixels | 1920x1200pixels |
| 相机频率 | 40Hz | 40Hz |
| 空间采样 | 88µm/pixel | 22µm/pixel |
| 畸变 | 0.08% | 0.05% |
| 景深 | ±12.6mm | ±2.2mm |
| RMS测量精度 | 0.1nm | 0.1nm |
| RMS重复性 | 0.03nm | 0.03nm |
| 波长 | 633nm, 1nm FWHM | 633nm, 1nm FWHM |
| 相干深度 | 300µm | 300µm |
| 工作距离 | 90mm | 90mm |
| 倾斜调整范围 | ±2° | ±2° |
| 平移调整范围 | ±8mm | ±8mm |
| 样品承载台 | 175mmx175mm | 175mmx175mm |
| 轴向移动范围 | 65mm连续移动100mm拆掉垫圈 | 65mm连续移动100mm拆掉垫圈 |
| 最大被测样品 | 100mm厚5kg重 | 100mm厚5kg重 |
产品特性
- 自动光强调节与FlexFlatTM传输平台相结合，减少了操作人员在测量时的干预
- 无需反复测量，无需扫描洌试位置
- 与其他基于激光的Fizeau干涉仪不同OptoFlat栠成了长寿命的LED光源
- 内置专有的PurePhaseTM方法提升了在不稳定的振动环境中的干涉相位测量
- 校准过的低畸变1X和4X光学放大倍率的比例尺准确的测试面积尺寸，可自动标记或用户定义有效通光孔径，便于判定测试合格/不合格
- 简单易用的测试软件界面便于光学原件的批呈测试，使任何人只要稍加培训就可以轻松测试多样的光学原件，专业的样品承载台可快速批量测试每个零件
- 非接触式传感器开始测量并能快速分析判断产品合格/不合格
- 设计简洁占地小，没有杂乱的电缆，只有交流电源和USB电缆到电脑
产品使用环境
| 温度范围 | 20°C-28°C |
| 隔振等级 | VC-C |
| 外形尺寸（长x宽x高） | 445mmx450mmx860mm |
| 重量 | 54kg |
| 电压 | 100... 240VAC, 50/60Hz |
OptoFlat4寸平面测试
OptoFlat测量环状表面
