OPTINO 光源一体式波前传感器
研发级Optino技术规格
- 波长宽度疫盖范围(193nm -10.6 μm)
- 支持透射(single pass)和双透射(double pass)两种测试光路
- 可配置各种型号的OMI传感器
- 支持配詈电动和手动测豆系统, 可配詈多种测试光路
- Zernike 系数测量重复性:λ/3000
- 波前rms测呈重复性:λ/1000
- 测量精度:λ/100
- 软件测试功能:波前/MTF/实时诊断/校准/准直
技术规格
| 焦比范围 | 支持任意焦比,需选择合适的平行光管测试 |
| 可在平行光下测试的光学元件直径 | 支持任意直径的元件,需选择合适的配件 |
| 测试光路 | Double or single pass |
| 标准微透镜的直径和焦距 |
(0.2mm, 11 mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41 mm). 其他: (0.13mm, 7mm). |
| 相机接口 | 具有干兆、USB2和USB3连接的相机可用,10位到16位 |
| 微透镜数量(0.2mm直径透镜阵列和USB3相机) 9mm光瞳 | 典型45x45 或75x75 (0.2mm直径),可选100x100或更高 |
| 最大微透镜数量(使用干兆相机),15mm光瞳 | 75x75(直径0.2mm) , 115x115(直径 0.13mm) |
| 可测量的非球面元件 | 纵向球差变化不超过15% |
| Zernike多项式计笢的RMS重复性 | 1-2nm rms(λ/600-λ/300) at 633nm |
| 波前测云的RMS重复性 | <λ/200 |
| 测量精度PV | λ/0-λ/100取决千校准元件的精度 |
| 动态测呈范国(减去倾斜) | 士50λ |
| 波长范围 | UV到长波都可选 |
| 光源 | LED, LDs 和可用卤素灯( 可指定波长计算) |
| 软件 | Sensoft |
| 采集速度 处理速度 | 15-500Hz(取决千相机) 5-150 Hz(取决千相机和电脑) |
| 平行光管步进电机的功率要求( 电动) | 12V/2A DC |
| 触发电源 | TTL5V |
- 尺寸,17(长)x10(宽)x10(言)cm
- 重晕:3kg
- 相机:USB3, 干兆以太网
- 电机电源:12V, 2A
- 测量技术:夏克哈特曼波前传感器
- 在平行光下进行测量(使用平行光管)
- 镜头焦点处使用针孔光源进行测罩
- 高质量光源、针孔校准装置、球面和平面参考镜
- 全套配件可供 选择
- 软件,通过软件可以轻松对准透镜组,该软件使用彗差和像散提供光学系统装调的指示


