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OPTINO 光源一体式波前传感器

研发级Optino技术规格

  • 波长宽度疫盖范围(193nm -10.6 μm)
  • 支持透射(single pass)和双透射(double pass)两种测试光路
  • 可配置各种型号的OMI传感器
  • 支持配詈电动和手动测豆系统, 可配詈多种测试光路
  • Zernike 系数测量重复性:λ/3000
  • 波前rms测呈重复性:λ/1000
  • 测量精度:λ/100
  • 软件测试功能:波前/MTF/实时诊断/校准/准直

技术规格

焦比范围 支持任意焦比,需选择合适的平行光管测试
可在平行光下测试的光学元件直径 支持任意直径的元件,需选择合适的配件
测试光路 Double or single pass 
标准微透镜的直径和焦距

(0.2mm, 11 mm), (0.2mm, 22mm), (0.3mm, 41 mm).

其他: (0.13mm, 7mm). 

相机接口 具有干兆、USB2和USB3连接的相机可用,10位到16位
微透镜数量(0.2mm直径透镜阵列和USB3相机) 9mm光瞳 典型45x45 或75x75 (0.2mm直径),可选100x100或更高
最大微透镜数量(使用干兆相机),15mm光瞳 75x75(直径0.2mm) , 115x115(直径 0.13mm)
可测量的非球面元件 纵向球差变化不超过15%
Zernike多项式计笢的RMS重复性 1-2nm rms(λ/600-λ/300) at 633nm
波前测云的RMS重复性 <λ/200
测量精度PV λ/0-λ/100取决千校准元件的精度
动态测呈范国(减去倾斜) 士50λ
波长范围 UV到长波都可选
光源 LED, LDs 和可用卤素灯( 可指定波长计算)
软件 Sensoft 
采集速度 处理速度 15-500Hz(取决千相机) 5-150 Hz(取决千相机和电脑)
平行光管步进电机的功率要求( 电动) 12V/2A DC 
触发电源 TTL5V 

 

  • 尺寸,17(长)x10(宽)x10(言)cm
  • 重晕:3kg
  • 相机:USB3, 干兆以太网
  • 电机电源:12V, 2A 
  • 测量技术:夏克哈特曼波前传感器
  • 在平行光下进行测量(使用平行光管)
  • 镜头焦点处使用针孔光源进行测罩
  • 高质量光源、针孔校准装置、球面和平面参考镜
  • 全套配件可供 选择
  • 软件,通过软件可以轻松对准透镜组,该软件使用彗差和像散提供光学系统装调的指示