µPhase VERTICAL 立式干涉仪
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
µPhase® VERTICAL产品特点
- 适用千厂房、 车间 、 实验室的标准干涉仪检测系统
- 立式检测， 结构紧凑， 占地面积小
- 配有Z轴方向运动的电动平台， 也可选配二电动平台用于放置CGH
- 配有精密倾斜平移样品调整台
- 可完成各种类型的反射与透射检测
- 可采用透射法检测双胶合透镜
- 镜头口径 10mm、50mm、100mm或150mm
- 集成半径测扭单元
- 可选CGH, 用于测量非球面、柱面、轮胎面等
- 曲率半径实现—键式自动测量
- 可配自动样品托盘用于批量检测
µPhase® VERTICAL PRO产品特点
- 镜片 、模具昂圆的自动测量装置
- 自动化且紧凑的设计可在—个周期内测量多个样品的表面和半径
- 可测兰球面、复曲面和非球面透镜以及玻璃、塑料或金属模具
- 样本半径小于等于50mm时， 录高测量精度为0.1µm
- xy表用于—批中多个样品的全自动测量， 具体情况取决于测量设置
- 样品支架（托盘）的布局可以自由配置， 并且可以轻松更改（托盘设计可根据需求定制）
产品型号及技术指标
| 产品型号 | µPhase® VERTICAL 3 | µPhase® VERTICAL PRO |
| 用途 | 研发、生产 | 生产、分批测量 |
| 被测样品类型 | 平面、球面、环曲面、非球面 | 球面、环曲面、非球面 |
| 被测样品尺寸（测量范围） | 最大 φ100mm 样品大小取决于测量目标 | 适用于小直径 |
| 被测样品最大重量 | 1.5kg | 1.5kg |
| 校准工具 | 手动倾斜台、手动xy工作台、机动化、电脑控制的Z轴 | 机动化、电摘控制的X/Y/Z轴 |
| 半径测量范围 | 根据测试光学元件，300...500mm、栠成半径测量单元 | 最大50mm、栠成半径测量单元 |
| 半径测量精度 | 另外附加高达0.1µm厚度 | ±0.1µm |
| 尺寸（高x宽x深） | 780mmx350mmx422mm | 350mmx530mmx750mm |
| 重量 | 60kg | 100kg |
| 类型 | 台式设备 | 台式设备 |
| 可选项 | 可选附加组件例如多个口径、Waver、刀具偏置透射法测量 | |
