µPhase® SPHERO & PLANO 生产用干涉仪
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
µPhase® PLANO UP µPhase® PLANO DOWN µPhase® SPHERO UP
产品特点
- 用千测量不同的平面和球面光学零件
- 操作直观而简单，适合生产人员使用
- 结构紧凑，占用空间小，可灵活的与产线结合
µPhase®干涉分析测量软件界面
CGH
提供测试非球面、球面、柱面、自由曲面所需的衍射光学元件及配件。 波前测量精度可达到<10nmRMS或λ/20PV接口可根据需求定制。
产品型号及技术指标
| 产品型号 | µPhase® PLANO DOWN | µPhase® PLANO UP | µPhase® SPHERO UP |
| 用途 | 生产 | 生产 | 生产 |
| 被测样品类型 | 平面 | 平面 | 球面 |
| 被测样品尺寸（测量范围） | 不同类型最大尺寸φ150mm | 不同类型最大尺寸φ150mm | 样品大小取决于测量目标 |
| 被测样品最大重量 | 5kg | 1.5kg （取决于配置） | 1.5kg （取决于配置） |
| PV重复精度 | <λ/100（λ＝632.8nm) | <λ/100（λ＝632.8nm) | <λ/100（λ＝632.8nm) |
| RMS重复精度 | <λ/1000（λ＝632.8nm) | <λ/1000（λ＝632.8nm) | <λ/1000（λ＝632.8nm) |
| 激光波长 | 632.8nm | 632.8nm | 632.8nm |
| 校准工具 | 手动倾斜 | 手动倾斜 | 手动双调节、倾斜台和z聚焦（几毫米） |
| 半径测量范围 | ——— | ——— | 通常10mm... 200mm 一般半径的测量相比，相对半径测量范围取决于测试目标和支架 |
| 半径测量精度 | ——— | ——— | 取决于半径法线的精度 |
| 尺寸（高x宽x深） | S: 300x300mm² （可工作距离18Qx180mm²) L: 440x440 mm² （可工作距离330x330 mm²) 可工作高度：110mm / 155mm / 200mm |
500mmx200mmx200mm | 500mmx200mmx200mm |
| 重量 | S: 25kg L: 45kg | 5kg...20kg （取决于配置） | 5kg...20kg （取决于配置） |
| 类型 | 台式设备 | 台式设备 | 台式设备 |
| 可选项 | 透射法测量 | —— | —— |
10mm物镜测量范围
50mm物镜测量范围
