µPhase® ST/ST+R 生产/研发用干涉仪
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
产品特点
- 用于测量平面和球面样品
- 可用于基千10mm和50mm的光学器件
- 紧凑型桌面设置，用于垂直测量，占地面积小
- 通过集成的倾斜和xy平移台实现样品优化校准
- 垂直轴用于高精度调整，可粗调和微调
- 可选半径测量功能
产品型号及技术指标
| 产品型号 | µPhase® ST /ST +R |
| 用途 | 研发、生产 |
| 被测样品类型 | 平面、球面 |
| 被测样品尺寸（测量范围） | 最大φ50mm、样品大小取决于类型和测试镜头 |
| 被测样品最大重量 | 1.5kg |
| 校准工具 | 手动双调节、倾斜台和z聚焦 |
| 半径测量范围 | 约220mm、根据厚度测量曲率半径（模拟数字化） |
| 半径测量精度 | 取决于厚度:0.5µm...5µm |
| 尺寸（高x宽x深） | 500mmx300mmx400mm、移动范围在160mm...300mm之间（取决于配置） |
| 重量 | 20kg |
| 类型 | 台式设备 |
