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量产型波前测量仪

产品详情

夏克-哈特曼波前传感器

  为了能够验证复杂的光学设计在生产中是否成功,必须使用一个有效的检测技术。波前测量特别适合此目的,因为它可以在空间分辨的基础上确定图像质量,包括所有视场角上和整个样品孔径。与传统的MTF测试相比,波前测试是用点扩散函数进行评价,可覆盖整个样品口径。


产品特点

01 ▏灵敏度高

WaveSensor和WaveMaster®系列波前测试系统的动态范围高达2000λ,可在镜头设计中实现高度灵敏的测量。


02 ▏重复精度高

除了高达λ/20 (RMS)的测量精度外,由于紧凑、坚固和抗振的设计,还实现了λ/200 (RMS)的高重复性。


03 ▏实时分析

实时将测量波前数据的结果与样品镜片或设计值的结果进行比较和评估。


产品概述

WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 Plan

镜头和晶圆的系列测试

WaveMaster® PRO 2 用于光学镜头和光学镜片的批量测试。

  • 全自动批量测量样品(晶圆或装载的托盘)

  • 单个镜头测量时间少于3秒,高效的测量提高了检测效率

  • 用户自定义的通过/失败标准,用于应用的质量控制,与设计数据或主样本进行比较

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产品应用

在以小尺寸和轻重量为特征的紧凑型透镜系统的需求,很多情况下,需要用一种非球面光学透镜替换多个球面透镜。因此,在生产过程中进行的质量控制变得越来越重要。在这种情况下,传统测量工艺已经不能完成这些测量任务,使用大动态范围的夏克-哈特曼波前传感器进行波前测量是这里的首选解决方案。


软件应用

该软件功能全面,界面友好,包含测量和分析球面和非球面样品所需的所有功能。输出结果数据可选全面,所有重要的测量结果可以被显示出来。

该软件与夏克-哈特曼波前传感器通讯并实时分析测量的波前。此外,WaveMaster®还可以控制测量系统以校准样品等。


  • 清晰的菜单引导和可配置的操作

  • 对整个透镜组件或单个透镜表面的波前进行简单直观的实时测量和分析

  • 一款软件满足所有需求:数据采集、数据计算、校准和数据显示

  • 绝对和相对测量模式,可与ZEMAX和Code V的理论设计数据或参考镜头进行实时比较

  • 通过输出测量证书

  • 在可调节的测量和分析范围内清晰描绘出:

    •  二维波前质量图

    •  PV和RMS

    •  波前强度

    •  相机波前图像

  • 通过多个参数化完整描述表面形貌:

    •  非球面方程

    •  泽尼克多项式

    •  圆锥方程

    •  球面方程

    •  自由曲面


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         WaveMaster-PRO-2-Wafer- Software-Shack-Hartman-sensor-Fullwafer-Measurement.PNG


升级与配件

WaveSensor & WaveMaster® 常规

通过对样品进行单独调整,可以进行完整的分析。活动支架使光源和望远镜的简单交换成为可能。

  • 不同波长和数值孔径的光源

  • 用于在样品和传感器之间实现合适的放大倍率的扩束望远镜

  • 用于具有不同曲率半径的表面的透镜组件

  • 样品架和托盘

  • 标准样品



WaveSensor & WaveMaster® 软件

1. 分析模块

软件可根据测量任务相关的需求进行模块优化:

  • Zernike拟合和实时波前分析

  • 拟合结果和残差的数值和图形显示

  • 从ZEMAX和CODE V导入波前设计数据以进行实时比

  • 以ASCII和ZEMAX格式导出波前数据和分析结果


2. MTF/PSF分析模块
  • 3D MTF 和 PSF 数据的实时计算和显示

  • MTF测量结果表

  • 测量结果导出功能

  • 计算斯特列尔比


3.WaveMaster® IOL 2
  • 测量范围的扩展

  • 柱面人工晶状体升级(自动标记点检测、MTF的测量、目视检查)

  • 升级为546nm

  • 具有各种孔径尺寸的人工晶状体工装

  • 模型眼,可选可加热

  • 计算斯特列尔比